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硅片洗濯机

产物功效 Features
◆合用于硅片、晶片及高紧密半导体器件的洗濯及枯燥。
◆装备“Lattani”430KHZ超声波体系及950KHZ兆声波体系,真正完成无盲区洗濯。
◆设置紧密轮回过滤泵及双级过滤器体系,有用去除液体中的颗粒。
◆设置数显式主动恒温体系,25-100℃可调,同时具备按时洗濯功效。
◆槽体外部作电解抛光处置,有用进步洗濯槽干净度。
 
◆设置FFU高效过滤体系,为干净洗濯进步情况撑持。
◆设置数显式流量计及电阻率计,及时切确监测纯水参数。
◆操纵干净氮气对工件停止有用枯燥。


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